NIPPON FUSSO (THAILAND) CO.,LTD. Thai English Japanese

095-865-0707(เบอร์ติดต่อฝ่ายเซลล์โดยตรง) / 038-950-747

Inquiries about fluoropolymer coatingInquiries
Company Profile
Products
การไม่เกาะติด
การป้องกันการกัดกร่อน
High purity(counter elution)
High purity(counter particle)
การป้องกันการปล่อยไฟฟ้าสถิต
แรงเสียดทานต่ำ
ฉนวนกันความร้อน
เครื่องปฏิกรณ์
สินค้าคงคลัง
เครื่องเป่า
การขนส่ง การจัดการ
การผสม
การดูดซึม / การดูดซับ
การแยก / การกรอง
การปรับขนาด
ตัวเคลือบ
Semiconductor manufacturing device
Liquid Crystal/Organic Electroluminescent Manufacturing Equipment
การพิมพ์
อุปกรณ์เสริม
อุปกรณ์ในห้องปฏิบัติการ
ผลิตภัณฑ์ที่มีลักษณะเฉพาะของเรา (รายละเอียดการเคลือบ)  
ใช้กับแกนม้วนและแขนของหุ่นยนต์
การเคลือบเซรามิก : NF-5340 NEW
การผสมผสานของเรซินฟลูออรีนและเซรามิก (การป้องกันการเกิดประจุไฟฟ้า)
อายมิวโค้ท (Aμcoat®)
EC Series
Anti ESD Coating (ESD=Electro Static Discharge)
Richil lining
Tack free
Tack freeNEW
ผลิตภัณฑ์ที่มีลักษณะเฉพาะของเรา (การออกแบบ / การผลิตเครื่องมือ)
เครื่องแลกเปลี่ยนความร้อน NEW
PEC ที่ไม่ใช่โลหะ
รายการของเกรดฟลูออโรโพลีเมอร์

Surface Treatment Technology Research Center

NIPPON FUSSO (THAILAND) CO.,LTD.
TEL: 038-950-747
FAX: 038-950-746

HOMEProductsProblems solved by fluoropolymer coatingApplication > อุปกรณ์ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ (Semiconductor manufacturing device)


ปัญหาที่ได้รับการแก้ไขด้วยการเคลือบด้วยฟลูออโรโพลีเมอร์ (Fluoropolymer Coating)

อุปกรณ์ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ (Semiconductor manufacturing device)

อุปกรณ์ทำความสะอาดแบบเปียก

การเคลือบฟลูออโรโพลีเมอร์โดยปราศจากโลหะ
การเคลือบฟลูออโรโพลีเมอร์บริสุทธิ์สูงป้องกันการปนเปื้อนของอุปกรณ์จากการชะไอออนของโลหะ

 

ข้อมูลการทดสอบการชะ


■ผลการทดสอบการชะจากหม้อทดสอบตัวอย่าง

หน่วย: ส่วนในพันล้านส่วน (ppb)


โซเดียม
Na
แมกนีเซียม
Mg
อะลูมิเนียม
Al
โพแทสเซียม
K
แทลเลียม
Tl
โครเมียม
Cr
เหล็ก
Fe
นิกเกิล
Ni
ทองแดง
Cu
สังกะสี
Zn
<0.5 <0.5 <0.5 <0.5 <0.5 <0.5 <0.5 <0.5 <0.5 <0.5


ความหนาของฟิล์ม: 300 ไมโครเมตร (μm)
ข้อกำหนดการเคลือบ: NF-036SP
พื้นผิว: SUS-304
เงื่อนไขการทดสอบการชะ: 36% HCI RT 1 สัปดาห์



ประโยชน์ของอุปกรณ์หมายเลข: No.1

การปนเปื้อนบนพื้นผิวน้อยลง

การลดลงของอนุภาค

ขอบความเสียหายของ Silicon waferน้อยลง

 

ประโยชน์ของอุปกรณ์หมายเลข: No. 2

ป้องกันการปนเปื้อนภายนอกเนื่องจากการซึมผ่านของสารเคมี

ความแข็งแรงเชิงกลใช้ได้สำหรับการใช้ท่อโลหะ

ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการนำความร้อน

ประโยชน์ของอุปกรณ์หมายเลข: No. 3

ป้องกันการปนเปื้อนจากภายนอกเนื่องจากการซึมผ่านของสารเคมี

ความแข็งแรงเชิงกลมีอยู่สำหรับการใช้ท่อโลหะ

ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการนำความร้อน

   
   

ความแข็งแรงที่ดีขึ้นสำหรับสินค้าแม่พิมพ์เรซิน

ประโยชน์ของอุปกรณ์

สามารถใช้วัสดุที่มีโครงสร้างโลหะได้

ช่วยรักษาความปลอดภัยของความแม่นยำของเครื่องจักรผ่านการประมวลผลรอง

วัดชิ้นส่วนที่จำเป็นถึงความแข็งแกร่งเชิงกลที่สูง

 

อุปกรณ์ CMP

ประโยชน์ของอุปกรณ์

ป้องกันไม่ให้อุปกรณ์เสื่อมสภาพจากของเหลวกัดกร่อนหรือบรรยากาศที่มีฤทธิ์กัดกร่อน

ป้องกันการปนเปื้อนข้ามกันจากการยึดติดของสารละลายข้น CMP

การล้างทำความสะอาดได้ดีขึ้น

   

สายไอเสีย

ประโยชน์ของอุปกรณ์

ป้องกันการกัดกร่อนจากก๊าซที่กัดกร่อน

ลดการเกาะติดของสารในคลังสินค้า

ความเสียหายของขอบ Silicon wafer ลดลง